Магнетронная приставка МП -104 предназначена нанесения покрытий методом магнетронного распыления.
Конструкция
Магнетронная приставка представляет собой планарный магнетрон, состоящий из охлаждаемого водой катода 13 и анода 12. Снаружи к магнетрону осуществляется подвод напряжения через разъем 1 на катод. Катод изолирован от анода 12 изолятором 7.
Магнитная система магнетрона состоит из магнита кольцевого 10 (NdFeB) и цилиндрического 11, магнитопровода 14.
Магнетрон устанавливается на основании рабочего объема в установочное место и фиксируется накидной гайкой 3. Вакуумное уплотнение обеспечивается с помощью уплотнителя 16. В другое установочное место основания рабочего объема устанавливается механизм поворота заслонкой.
Источники питания:
- блок питания постоянного тока;
- блок питания переменного тока МВ-0,5 или МВ-1.
