Источник питания МВ-5 представляет собой генератор высокой частоты и предназначен для расширения функциональных возможностей прибора ВУП-5М при исследованиях в области физики, химии, микроэлектроники.
Эксплуатация
Источник питания МВ-5 предназначен для эксплуатации в стационарных лабораторных условиях:
- при температуре окружающего воздуха от 15 до 25°С
- относительной влажности не более 80%
Конструкция
Источник питания состоит из блока высокочастотного (ВЧ) генератора, устройства согласования и соединительных кабелей.
При эксплуатации, источник питания подключается к штатному магнетрону из комплекта поставки прибора ВУП-5М. При этом питание магнетрона производится током высокой частоты, что позволяет получать высококачественные пленки не только металлов, сплавов и полупроводников, но также пленки диэлектриков путем распыления мишеней из диэлектрических материалов.
Блок ВЧ генератора предназначен для получения высокочастотной электромагнитной энергии заданной мощности и управления режимом напыления, конструктивно выполнен в настольном варианте.
Устройство согласования предназначено для трансформации комплексного входного сопротивления магнетрона в активное сопротивление 50 Ом, что обеспечивает оптимальный режим работы ВЧ генератора. Блок ВЧ генератора имеет заземляющую клемму для соединения с внешним заземляющим контуром.
Характеристики
|
Максимальная выходная мощность на выходе при активной нагрузке 50 Ом, не менее, Вт |
500 |
|
Диапазон регулировки и индикации выходной мощности, Вт |
0-500 |
|
Погрешность регулировки, не более, % |
20 |
|
Рабочая частота, МГц |
13,56 |
|
Электрическое питание системы осуществляется от сети переменного тока, В |
220 |
|
Потребляемая мощность, не более, кВ А |
1,5 |
|
Габаритные размеры, мм |
450х310х450 |
|
Масса, кг |
40 |
